МГТУ им. Баумана открыл бесплатный доступ к производству фотонных чипов на основе нитрида кремния

Команда кластера «Квантум Парк» МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП ВНИИА объявила о старте приёма заявок на первый контрактный запуск производства фотонных интегральных схем в формате Multi Project Wafer (MPW). Этот формат предполагает разделение площади пластин между различными заказчиками. Первой доступной технологической платформой станет техпроцесс на основе нитрида кремния, который обеспечивает низкие потери полезного сигнала в фотонных чипах до 0,05 дБ/см.

Заказы на производство фотонных интегральных схем могут разместить научные группы РАН, университетов, индустриальных компаний и стартапов в области интегральной фотоники. Научную экспертизу пилотного запуска обеспечивает Российская академия наук.

Пилотный запуск будет профинансирован МГТУ им. Н.Э. Баумана за счёт собственных средств. Разработка техпроцесса и его адаптация для контрактного производства выполнены в рамках стратегического технологического проекта «Экзафлопсные гибридные вычисления (Bauman DeepTech)» программы «Приоритет 2030» Министерства науки и высшего образования РФ.

Производство фотонных интегральных схем в «Квантум Парке» направлено на создание инфраструктуры для российских разработчиков. Оно позволяет объединять несколько проектов на одной кремниевой пластине или подложке. Это снижает конечную стоимость изготовления для заказчиков. Университеты, научные центры и высокотехнологичные компании получают возможность разрабатывать и тестировать свои решения без необходимости запуска собственных производственных линий.

Разработанный специалистами МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП ВНИИА им. Н.Л. Духова технологический маршрут ориентирован на создание фотонных интегральных схем с низкими оптическими потерями и возможностью термооптической модуляции сигнала. Каждый