Минпромторг выделит 1,4 млрд рублей на разработку установки для жидкостной обработки кремниевых пластин

Минпромторг РФ направит около 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Речь идёт об автоматизированной линии для травления, очистки и сушки пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Установка должна заменить американские и японские аналоги, которые сейчас используются на российских предприятиях.

Тендер на создание опытного образца уже размещён на портале госзакупок. По условиям закупки, установка должна обрабатывать пластины диаметром до 200 мм и принимать до 100 штук за цикл. Также она должна работать минимум с восемью химическими реагентами, включая плавиковую, серную и соляную кислоты, аммиак и перекись водорода.

Для разных операций будут использоваться разные составы, а система должна автоматически переключаться между ними без смешивания несовместимых веществ. Ключевые узлы — ротор, система подачи химии, контроллер и программное обеспечение — должны быть российского производства. Импортные компоненты допустимы только по согласованию с заказчиком.

Завершить работы Минпромторг рассчитывает к ноябрю 2029 года. Исполнитель был определён 19 июня, но его название в системе госзакупок скрыто. В министерстве при этом не раскрыли победителя конкурса до подписания контракта, но подтвердили, что дальше это направление будут развивать в рамках программы по электронному машиностроению.

Эксперты поясняют, что жидкостное травление — это обработка поверхности пластины химическим раствором, который равномерно растворяет материал. Такой метод используют для удаления толстых слоёв, очистки от загрязнений и выборочного снятия материалов без дефектов.

На ранних этапах массового производства жидкостное травление применяют чаще, тогда как для более точных операций используют