Нанотехнологический центр «Шухов.Нано» представил субангстремную технологию для процессоров нового поколения

Нанотехнологический центр «Шухов.Нано», созданный МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА им. Н.Л. Духова», представил субангстремную технологию изготовления процессоров нового поколения. Точность технологии составляет ±0,2 ангстрема. Это примерно одна десятая диаметра атома, рассказали информационной службе Хабра в пресс‑службе МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Технология получила название iDEA. Она позволяет изготавливать логические элементы на новых физических принципах. С ее помощью можно создавать квантовые процессоры с тысячами кубитов. Эти кубиты работают как сверхпроводниковые искусственные атомы. Все параметры таких элементов можно точно задать. Это необходимо для построения гибридных суперкомпьютеров.

Результаты работы опубликованы в журнале Science Advances. Технология защищена российским патентом. Начато международное патентование.

По словам представителей «Шухов.Нано», сейчас только отдельные мировые компании достигли субнанометровой точности в производстве. Это Intel с технологией 18 Å, Samsung с SF2 на 12 Å и TSMC с N2 на 20 Å. Главным показателем остается толщина диэлектрического слоя под транзистором. Она составляет 1,5–2 нанометра. Производители достигли точности в ±0,2 нанометра. Российская технология обеспечивает точность ±0,2 ангстрема, то есть в 10 раз выше.

Современные квантовые процессоры требуют высокой точности. При увеличении числа кубитов растет риск ошибок. Такие ошибки связаны с отклонением частот кубитов. Даже малейшее отклонение может повлиять на работу всей схемы. Технология iDEA позволяет избежать таких проблем.

Метод iDEA основан на фокусированном пучке ионов. Он изменяет толщину туннельного диэлектрика кубита с высокой точностью. Отклонение составляет не более ±0,2 ангстрема. Для этого используются ионы