«Бауманка» заявила о запуске производства сверхпроводниковых квантовых процессоров и рассказала о технологии их создания

МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА им. Н.Л. Духова» заявили об открытии первого в России контрактного производства сверхпроводниковых квантовых процессоров на 100-мм пластинах. Производство будет находиться в новом кампусе МГТУ им. Н.Э. Баумана. Это позволит удовлетворить растущий запрос ключевых заказчиков сверхпроводниковых интегральных схем, включая технологические компании и научные лаборатории, рассказали информационной службе Хабра в пресс‑службе МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Переход от изготовления «отдельных кристаллов» к серии в НОЦ ФМН (совместный научный центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА им. Н.Л. Духова») стал возможен благодаря собственной технологии сверхпроводниковых джозефсоновских схем. Эта технология представляет собой одну из наиболее перспективных для создания высокоточных квантовых процессоров и параметрических усилителей, необходимых для точного считывания сигналов квантовых схем. На одной пластине могут быть размещены сотни чипов различных квантовых устройств, объединённых одним технологическим маршрутом изготовления.

Для перехода на серию с соблюдением параметров качества квантовых устройств, достигнутых на отдельных чипах, НОЦ ФМН потребовалось несколько лет. По словам разработчиков, им удалось сохранить качество и улучшить точность изготовления элементов квантовых схем в допуске 0,5 нм. Для масштабирования разработанной технологии и запуска контрактного производства команде осталось дооснастить построенный в 2024 году в новом Бауманском кампусе исследовательский кластер с уже спроектированным оборудованием.

Для постановки серийного техпроцесса нужно создание наноразмерных элементов сверхпроводниковых устройств — джозефсоновских переходов. Они представляют собой трёхслойную структуру из алюминия,